1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:线mmHg的真空度,选用的线mmHg。通常
为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工
作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而
不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:
油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁线、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。
音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,
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