真空泵是指造成真空状态而使特定空间内压强降低的工具。为将一定空间内的气体通过真空泵获得不同的真空度，需要采用不同的真空泵。真空泵基本上可分为气体输送式和气体收集式两种。前者是将气体从被抽容器中排除，后者是将气体收集在真空中的某一吸气表面上。气体输送式真空泵又分为机械泵和流体传输泵。气体收集式真空泵又分为冷凝泵和吸附泵。
(1)真空度。它是指真空泵在给定条件下，经充分抽气后所达到的稳定的低压强。
(2)抽气速率。它是指对于给定气体，在一定温度和压强下，单位时间内从泵吸气口平面处抽除的气体容积。
(3)抽气量。它是指对于给定气体，在一定温度下，单位时间内从泵吸气口平面处抽除的气体量。
(4)大反压强。需要用前级泵的真空泵，在一指定的负荷下运转时．其出口反压强升高到某一定值时，则泵会失去正常的抽气能力，该反压强称为大反压强。
