线、真空泵 vacuum pumps 产生、改善和或 维持真空的 装置。基本上 分为气体传输 泵和气体捕集 泵两种类型。 1.2、容积真空泵 positive displacem ent pump容积真空泵是利用泵腔容 积的周期变化 来完成吸气和 排气的装置。 气体在排出前 被压缩。这种 泵分为往复式 及旋转式两种 。 1.3、气镇真空泵 gas ballast vacuum pump泵工作中经气镇阀放 入适量的非可 凝性气体到泵 的压缩室以 降低被抽气体 中可凝性蒸汽 在泵内凝结程 度的容积线 的容积真空泵均可装 气镇装置。 1.4、油封液封真...
线、真空泵 vacuum pumps 产生、改善和或 维持真空的 装置。基本上 分为气体传输 泵和气体捕集 泵两种类型。 1.2、容积真空泵 positive displacem ent pump容积真空泵是利用泵腔容 积的周期变化 来完成吸气和 排气的装置。 气体在排出前 被压缩。这种 泵分为往复式 及旋转式两种 。 1.3、气镇真空泵 gas ballast vacuum pump泵工作中经气镇阀放 入适量的非可 凝性气体到泵 的压缩室以 降低被抽气体 中可凝性蒸汽 在泵内凝结程 度的容积线 的容积真空泵均可装 气镇装置。 1.4、油封液封真空 泵 oil seal ed (liquid-sealed) vacuum pump利用油类密封各运动部件间 的间隙和减少 压缩室有害空 间的旋转容积 线、干封真空泵 dry-sealed vacuum pump不用油类或液体密封的 容积线、往复真空泵 piston vacuum pump利用泵腔内活塞往 复运动将气 体压缩并排出 的容积线、液环真空泵 liquid ring vacuum pump带有多叶片的转 子偏心装在泵 壳内当它旋 转时把液体 通常为水 抛向泵壳并形 成与泵壳同心 的液环液环 同转子叶片形 成了容积周期变 化的旋转容积 线、旋片真空泵 sliding vane r otary vacuum pump转子偏心的装在泵壳内并同 泵壳内表面固 定面相切在 转子内装有二 个或二个以 上旋片当 转子旋转时滑 片能沿其径向 槽往复滑动且 与泵壳内壁始 终接触将泵 腔分为几个可 变容积的旋转 容积线、定片真空泵 rotar y piston vacuum pump在泵壳内装有一 个与泵壳内壁 相接触的偏心 转子泵壳上 装有一片始终 与转子表面接 触的径向滑片 当转子旋转 时滑片上、下滑 动将泵腔分成 两个可变容积 的旋转容积线、滑阀真空泵 rotary plunger vacuum pump在偏心转子外有一滑 阀环转子旋 转时带动滑阀 环沿泵壳内壁 滑动和滚动 固定在滑阀环 上的滑阀杆能 在装于泵壳适 当位置可摆动 的滑阀导轨中 滑动而把泵 腔分成两个可 变容积的旋转 容积线、余摆线真空泵 trochoidal vacuum pump在泵壳内偏心装有一 个余摆线型转 子它沿泵壳 内壁滑动并将 泵腔分成两个 可变容积的容 积线、多室旋片真空泵 multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump在一个泵壳中并联装有由 同一电动机驱 动的多个独立 工作室的旋片 线、罗茨真空泵 roots vacuum pump泵内装有两个相反方向同 步旋转的双叶 形或多叶形转 子转子间 转子同泵壳内 壁保持一定的 间隙的旋转容 积线、动量传输泵 kinetic vacuum pump高速旋转的叶片或射流 把动量传输给 气体或气体分 子使气体连 续不断的从入 口传输到出口 的线、牵引分子泵 mol ecular drag pump气体分子与高 速转动的转子 相碰撞而获得 动量被送到 出口的一种动 量传输泵。 1.16、涡轮分子泵 turbo molecular pump泵内装有带槽的圆 盘或带叶片的 转子它在定 子对应的圆盘 间旋转。转子 圆周的线速度 和气体分子速 度是相同的量 级的泵通常 在分子流条件 下工作。 1.17、喷射真空泵 ejector vacuum pump利用文丘里venturi效应的压力降 产生的高速射 流把气体输送 到出中的一种 动量传输泵。 喷射真空泵适 于粘滞流和过 渡流条件下工 作。 1.18、液体喷射真空泵 liquid jet vacuum pump以液体通常为水为工 作介质的喷射 线、气体喷射真空泵 gas jet vacuum pump以非可凝性气体作为工作 介质的喷射线、蒸汽喷射真 空泵 vapor jet vacuum pump 以蒸汽水、油 、汞等蒸汽 作为工作介质 的喷射线、扩散泵 diffusion pump 以低压高速 蒸汽流油或 汞等蒸汽作 为工作介质的 气体动量传输 泵。气体分子 扩散到蒸汽射 流中被送到 出口。在射流 中气体分子密 度始终是低的。 这种泵适于分 子流条件下工 作。 1.22、自净化扩散泵 self purifying diffusion pump泵液中的易挥发杂质经专 门的机构输送 到出口而不回 到锅炉中的一 种油扩散泵。 1.23、分馏扩散泵 fracti onating diffusi on pump 这种泵具有分馏装置 使蒸汽压力较 低的工作液蒸 汽进入高真空 工作的喷嘴 而蒸汽压力较 高的工作液蒸 汽进入低真空 工作的喷嘴中 的一种多级油 扩散泵。 1.24、扩散喷射泵 diffusi on ejector pump 有扩散泵特性的单级 或多级喷嘴和 具有喷射泵特 性的单级或多 级喷嘴组成的动 量传达室输泵 。 1.25、离子传输泵 ion transfer pump被电离的气体在 电磁场或电场 的作用下输 送到出口的一 种动量传输泵 。 1.26、捕集真空泵 entrapment vacuum pump气体分子被吸附或凝结在泵 内表面上的线、吸附泵 adsorption pump主要用具有大表面的吸 附剂如多孔 物质的物理 吸附作用来抽 气的捕集线、吸气剂泵 getter pump用吸气剂以化学结合方式捕 获气体的捕集 真空泵。吸气 剂通常是以块 状或沉积新鲜 薄膜形式存在 的金属或合金 。 1.29、升华蒸发泵 sublimation (evaporati on)pump 一种用间断或连续方式升华 蒸发吸气材 料以达到抽气 目的的捕集线、吸气剂离子泵 getter ion pump被电离的气体通过电磁场 或电场的作用 吸附在有吸气 材料的泵内表 面上的捕集真 空泵。
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