1、工作真空范围：不同的工艺要求不同的真空度范围，因此需要确定所需的气体采样泵的工作线、极限真空度：在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来说，系统的极限真空度比系统的工作线%，比前级泵的极限线、抽气种类、性质与抽气量：如果需要采集的气体本身有一定负压，那么真空度参数也必须考虑。同时还需要考虑输送高温、腐蚀性的气体，对泵的要求也不同。
4、调速性能：具有调速性能的气体采样泵可以在调节流量上实现突破，提高能量效率，克服降压调速的一些缺点。
5、自我保护功能：在泵卡死、过热等意外情况下能自动停机，安全性能高的气体采样泵才能保证操作人员的安全。
